工業(yè)檢測金相顯微鏡適用于對工件表面的組織結(jié)構(gòu)與幾何形態(tài)進(jìn)行顯微觀察。采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計(jì)理念,可以方便升級(jí)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)偏光觀察、暗場觀察等功能,導(dǎo)柱升降裝置,可以快速調(diào)整工作臺(tái)與物鏡之間的距離,適用于不同厚度工件檢測。
工業(yè)檢測金相顯微鏡的主要功能:
1、遠(yuǎn)光學(xué)成像與柯拉照明落射系統(tǒng)
產(chǎn)品采用優(yōu)良的遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡,大視野廣角目鏡,高亮度鹵素?zé)艋騆ED照明,可實(shí)現(xiàn)明視場、暗視場、偏振光、微分干涉相襯、工業(yè)熒光顯微觀察功能,目視觀察可選擇正像觀察模式,系統(tǒng)安裝在線性導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上,保持良好的運(yùn)動(dòng)與成像的穩(wěn)定性。
2、工作移動(dòng)平臺(tái)與控制系統(tǒng)
測量的精度與操作性能很大程度依賴于工作平臺(tái)的制造精度與可控性。手動(dòng)工作平臺(tái)采用交叉滾柱導(dǎo)軌與直線引導(dǎo)機(jī)構(gòu),具有快/慢速離合功能,電動(dòng)工作平臺(tái)采用滾珠絲桿與步進(jìn)電機(jī)傳動(dòng),在有效移動(dòng)范圍內(nèi)具有良好的運(yùn)動(dòng)與控制精度,可附加定位鎖緊、旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)等附件,滿足不同用戶需求。
3、測量數(shù)據(jù)顯示與處理系統(tǒng)
通過影像中的十字基準(zhǔn)線與工作臺(tái)光柵機(jī)構(gòu)的相對移動(dòng),在數(shù)顯屏上可觀察到影像的實(shí)際運(yùn)動(dòng)量可以減少因影像系統(tǒng)誤差而出現(xiàn)的測量偏差,滿足手動(dòng)測量用戶的要求。
顯微影像與光柵數(shù)據(jù)集成于測量分析軟件時(shí),可通過對步進(jìn)電機(jī)的自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)顯微測量,滿足在線用戶的自動(dòng)檢測要求。通過聚焦步進(jìn)電機(jī)與垂直運(yùn)動(dòng)光柵機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦、影像合成及深度測量等。